ก๊าซ Octafluorocyclopentene

Octafluorocyclopentene เป็นของเหลวที่เป็นพิษไม่ติดไฟจุดเดือดต่ำ (81 องศา F) ของเหลวไม่มีสีที่มีกลิ่นที่โดดเด่นเล็กน้อย .

Octafluorocyclopentene กับ 99 . 99% ผู้ผลิตที่บริสุทธิ์ผู้ผลิต Jiangsu MR Chemical Co. , Ltd

Cas: 559-40-0

EINECS: 209-203-0

UN: 2810

สูตรโมเลกุล: C5F8

Octafluorocyclopentene gas is gaining recognition as a superior etching medium in semiconductor fabrication due to its unique cyclic molecular structure. Unlike linear perfluorocarbons, octafluorocyclopentene gas demonstrates exceptional plasma stability and precise etching characteristics that enable superior profile control in high aspect ratio features. The gas's relatively high boiling point (-6°C) allows for easier handling compared to other etching gases, while its density (approximately 6.8 times heavier than air) requires specific safety protocols to prevent accumulation in confined spaces. Recent breakthroughs in 3D NAND flash memory production have particularly benefited from octafluorocyclopentene gas's ability to maintain consistent etch rates across deep trench structures. Environmental considerations surrounding octafluorocyclopentene gas focus on its global warming potential (estimated GWP of 7,200), prompting development of advanced abatement systems that can destroy over 99% of used gas. The compound's thermal stability (decomposition temperature >550 องศา) ทำให้มีค่าเท่ากันในฐานะสื่ออิเล็กทริกในอุปกรณ์แรงดันไฟฟ้าสูงพิเศษที่ฉนวนแบบดั้งเดิมล้มเหลว .

Octafluorocyclopentene (OFCP) ส่วนใหญ่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการแกะสลักพลาสมา . นอกจากนี้ยังเป็นวัสดุเริ่มต้นสำหรับการสังเคราะห์สารประกอบ perfluorinated อื่น ๆ ที่ใช้ในอุปกรณ์ optoelectronic และแอปพลิเคชันอื่น ๆ

• ใช้เสมอตามแผ่นข้อมูลความปลอดภัย (SDS) .
• กระบอกสูบจะต้องจัดเก็บและใช้ในตำแหน่งที่มีความปลอดภัยในพื้นที่ที่มีการระบายอากาศดีหรือตรวจสอบ .}
• ปฏิบัติตามข้อกำหนดของรหัสดับเพลิงในท้องถิ่นเสมอเมื่อเก็บถังก๊าซ .
• อันตรายที่สำคัญ: ไฟ, การหายใจไม่ออก .

ป้ายกำกับยอดนิยม: Octafluorocyclopentene Gas, China Octafluorocyclopentene ผู้ผลิตก๊าซซัพพลายเออร์โรงงาน, แอมโมเนียมไฮดรอกไซด์, ความบริสุทธิ์สูง octafluorocyclopentene, Octafluorocyclopentene 99 99, Octafluorocyclopentene C5F8, Octafluorocyclopentene CAS 559 40 0, ก๊าซ Octafluorocyclopentene